Vol.2, No 1, 2004 pp. 1 - 10
UDC 537.226.86+539.3+532

ANALYZING MICRO-ELECTRO-MECHANICAL-FLUIDIC SYSTEMS BY 2D COUPLED-FIELD ANALYSES
Miloš Milošević1, Helmut Wurmus2, Života Živković1
1Faculty of Mechanical Engineering, University of Niš, Serbia and Montenegro
2Fakultät für Maschinenbau, TU Ilmenau, Deutschland

Abstract. The major technical barrier in developing new microdevices lies in the lack of understanding physical phenomena and their interactions that occur in multiphysical microsystems. Most of them rely on interactions of thermal, mechanical, electric, magnetic and/or fluidic fields for performing their intended functions. So, to make a step in advance, it is not enough to understand these areas individually, but the coupled effects of these phenomena at the same time. This is possible by using coupled-field analyses that take into account interactions between two or more different disciplines of engineering. The typical representative is an analysis of the piezoelectric micropump as an electric-structure-fluid coupled microsystem. Theoretical considerations and the procedure of modeling a piezoelectric micropump as a multidisciplinary microsystem with coupled-field effects by 2D coupled-field analyses of the simulation software ANSYS will be shown in this paper.
Key Words: Microsystems, Modeling, Physical Effects, Coupled-field Analysis.

ANALIZA MIKRO-ELEKTRO-MEHANIČKO-FLUIDNIH SISTEMA PRIMENOM 2D UPARENIH ANALIZA
Glavna tehnička barijera u razvoju novih mikrouređaja leži u činjenici da je veoma teško shvatiti fizičke pojave, a naročito njihove uzajamne interakcije koje egzistiraju u multifizičkim mikrosistemima. To je posledica toga što se ispunjenje karakterističnih funkcija kod većine mikrokomponenata zasniva na složenim međusobnim uticajima toplotnog, mehaničkog, električnog, magnetnog i/ili fluidnog fizičkog polja. Zbog toga nije dovoljno da se poznaju individualni procesi unutar ovih oblasti, već je potrebno da se shvate efekti ovih fenomena pri njihovoj međusobnoj interakciji. Takvi efekti nazivaju se upareni efekti i u cilju njihove analize razvijene su takozvane uparene analize pomoću kojih se analiziraju međusobne interakcije multifiičkih efekta koji potiču iz dve ili više različitih fizičkih disciplina. Karakterističan primer je analiza piezoelektrične mikropumpe sa istovremenom interakcijom veličina iz električne, mehaničke i fluidne oblasti. U ovom radu će biti prikazani teorijska razmatranja i procedura za modeliranje piezoelektrične mikropumpe kao jednog multidisciplinarnog mikrosistema pomoću 2D uparenih analiza u softverskom paketu ANSYS.
Ključne reči: Mikrosistemi, modeliranje, fizički efekti, uparena analiza