Vol.2, No 4, 2002 pp. 189 - 195
UDC 533.5+531.788
DEVICE FOR CALIBRATION OF LOW PRESSURE
GAUGES DEVELOPMENT
Ž. D. Nikitović
Institute of Physics, P.O.B. 68, 11080 Belgrade, Yugoslavia
Abstract. Vacuum system set-up is presented and used for calibration
of pressure gauges in the region of rough vacuum, from 103
mbar to 10-1 mbar, with dry air. The capacitance
manometer is used for the calibration of piezoresistant manometer, oil,
mercury and mercury micrometers U manometers. The applicability of the
experimental set-up and obtained results for the low pressure gauges calibration
in the medium and high vacuum region is approved. It was shown how calibration
of some cheaper pressure gauges might be performed and reliable measurements
of the pressure may be made in the region that is of interest for atomic
and molecular collision physics and low-pressure gas discharges. It was
also shown that mentioned calibration procedure could be used for calibration
of different U manometer types in order to renormalize older atomic and
molecular collision data.
Key words: rough vacuum, calibration, pressure gauges.
RAZVOJ I UHODAVANJE UREĐAJA ZA KALIBRACIJU
MERILA NISKIH PRITISAKA
Opisan je vakuumski sistem koji je korišćen za kalibraciju merila niskih
pritisaka u domenu grubog vakuuma, od 103
do 10-1 mbar, sa suvim vazduhom kao radnim
gasom. Iskorišćen je kapacitivni manometar za kalibraciju piezootpornog,
uljnog, živinog i živinog mikrometarskog U manometra. Pokazano je da se
ovaj eksperimentalni uređaj i dobijeni rezultati mogu primeniti i za kalibracuju
merila niskih pritisaka u domenu srednjeg i visokog vakuuma. Takođe je
pokazano kako kalibracija nekih jednostavnih merila niskih pritisaka može
biti izvedena kao i korišćena za pouzdana merenja pritisaka koja su od
interesa za atomsku i molekulsku fiziku sudara i gasna pražnjenja na niskim
pritiscima. Ukazano je na mogućnost primene opisane kalibracione procedure
za kalibraciju različitih tipova U manometara u svrhu renormalizacije vrednosti
starijih atomskih i molekulskih podataka za sudare.
Ključne reči: grubi vakuum, kalibracija, merila pritiska
